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SF500 撓性線路系列干膜光阻劑

    SF500 撓性線路系列干膜光阻劑

SF500 撓性線路系列干膜光阻劑是一種具備高解析度、高附著力的全水溶性干膜光阻劑,專用于性線路板以及內層蝕刻工藝。具有優良的密著性、解像度,可有效地提高高密度線路板形成時的良品率。

特色及優點

高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

xx的貼合度-高良率

高附著力-高良率

特有的感光速度-50-60 mj/cm2 能量可達7級曝光尺(21級)

優越的剝膜性能和快的褪膜速度

項目
單位
SF510
SF512
備注
厚度
μm
25
30

感度*1
mj/cm2
45
55

最短顯影時間
sec.
13
15

附著力*1*2(L/S=X/250)
μm
21
25

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
20
20

*1:SF512(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

*3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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